- 공동사용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 공동활용가능 / 단독사용 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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공동기기원 공동활용 |
Focused Ion Beam system / 집속이온빔장치
[81B104]집속이온빔(FIB) 도입년도 : 2013 모델명 : JIB-4601F 취득금액 : |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Optically Coupled / 반도체소자 실험장비
[86691]에너지나노디바이스실험실 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
ICP Etcher / 유도결합형 플라즈마 식각장비
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2002 모델명 : Multiplex ICP 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
ICP ETCHER / 유도결합형 플라즈마 식각장비
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2001 모델명 : ASEHR 취득금액 : |
예약불가 |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Micro Pattern Generator / 패턴 제네레이터
[86291]에너지클러스터실험실 도입년도 : 2014 모델명 : UPG-501 취득금액 : |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
7inch sputtering system / 증착 챔버
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2006 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Spin Rinser Dryer / 회전건조기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2006 모델명 : PSC-101 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
E-beam Thermal Evaporating sys / 진공증착기
[25202C]학부공동연구실2 도입년도 : 2009 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
Reactive Ion Etching System / 반응성 이온 식각 시스템
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2023 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Chalcogenide Co-Sputtering System / 진공(배큠)챔버 (칼고겐이원화합물 스퍼터링 시스템)
[86391]에너지저장소재실험실 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |