- 공동사용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 공동활용가능 / 단독사용 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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공동기기원 공동활용 |
Focused Ion Beam system / 집속이온빔장치
[81B104]집속이온빔(FIB) 도입년도 : 2013 모델명 : JIB-4601F 취득금액 : |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Cryogen-Free Physical Property Measurement System(PPMS) / 물성 측정기 (9T 자기장을 이용한 물성특성 시스템)
N센터-86491(공용실험실) 도입년도 : 2014 모델명 : DynaCool-9 D850 취득금액 : |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Optically Coupled / 반도체소자 실험장비
[86691]에너지나노디바이스실험실 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
ICP Etcher / 유도결합형 플라즈마 식각장비
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2002 모델명 : Multiplex ICP 취득금액 : |
예약불가 |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Micro Pattern Generator / 패턴 제네레이터
[86291]에너지클러스터실험실 도입년도 : 2014 모델명 : UPG-501 취득금액 : |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Spin Rinser Dryer / 회전건조기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2006 모델명 : PSC-101 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
Reactive Ion Etching System / 반응성 이온 식각 시스템
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2023 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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뇌과학이미징연구단 단독활용 |
Rack & Cage Washer / 세척기 (실험동물용 물품 세척기)
[86B231]세척실 도입년도 : 2015 모델명 : 80-0 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Microwave Plasma Batch Asher / 마이크로웨이브플라즈마식각장비
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2006 모델명 : 300 Semi Auto 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
PEALD(Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) System / 반도체소자 실험장비 (플라즈마 원자층 박막증착 시스템)
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2011 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |