FE-SEM / 열전계방사형주사전자현미경
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- 도입년도
- 2010
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- 모델명
- JSM-7600F
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 일본 / Jeol
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 공동기기원
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- 설치장소
- [81B101]주사전자현미경실Ⅱ,Ⅳ
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- 담당자(연락처) / e-mail
- 김순섭 (031-299-6776) / miny06@skku.edu
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장비설명
닫기고해상도를 요구하는 박막재료 반도체재료의 국부 영역의 상관찰 In-Lens Thermal FEG Ultrahigh resolution comparable to the cold cathode FE-SEM 에너지 절약 ECO design
구성 및 성능
닫기Gentle Beam mode SEI resolution 1.5 nm (1 kV) in GB mode 1.0 nm (15 kV) Magnification 25 to 1000000x (printed as a 120mm x 90mm micrograph) Accelerating voltage 0.1 to 30 kV Beam current 1 pA to 200 nA at 15 kV Aperture angle control lens Integrated Detector Upper and lower detectors Energy Filter New r-filter Gentle beam Integrated Digital images 1280 x 960 2560 x 1920 5120 x 3840 Specimen exchange chamber Single step loading/unloading Specimen stage Eucentric 5 axis motor drive
용도
닫기Analysis of phase, chemical elements, crystal structure at small region for materials needing the high resolution 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성분석, 결정구조분석
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항목명 교내요금 교외요금 [FE-SEM4] 영상분석 기본(1시간) 80000 110000 [FE-SEM4] 영상분석 시간추가(1시간) 60000 90000 [Data] Image(1장) 2000 3000 [EDS] Point(시료) 35000 50000 [EDS] Mapping(시료) 40000 60000 [시료전처리] Ir Coating 50000 60000 [시료전처리] Pt Coating 30000 40000 [시료전처리] Au Coating 15000 20000 [시료전처리] Cross section polishing(2시간) 60000 120000