3D Measuring Laser Confocal Microscope / 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경
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- 도입년도
- 2021
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- 모델명
- OLS5000
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 일본 / Olympus
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 공동기기원
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- 설치장소
- [81B110]이차전자질량분석실
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- 담당자(연락처) / e-mail
- 강수진 (031-299-6764) / grw06466@skku.edu
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장비설명
닫기○ 3차원 형상 측정 레이저 공초점 현미경(3D Measuring Laser Confocal Microscope)은 단파장의 레이저를 이용하여 일반 가시광선보다 높은 해상도의 이미지를 출력하며 공초점방식(핀홀을 이용하여 초점이 맞는 빛만을 선택적으로 받아드려 더 선명한 이미지를 얻는 방식)을 통해 고품질의 이미지를 비접촉식으로 측정하는 현미경으로 수nm에서 수mm까지의 광범위를 시료 손상없이 측정 가능한 장점이 있음. ○ 반도체 소자, 광학 재료, 금속, 고분자, 생체 시료 까지 다양한 분야에서 표면 조도, 3D 형상을 빠르고 정확하게 얻을 수 있어 기존의 접촉식 표면 측정기와 함께 시너지를 창출함. ○ 특히 본 장비는 기존의 광학 현미경과는 달리 레이저를 장착하여 기존의 할로겐 또는 수은 램프에서 얻을 수 없는 고해상도의 이미지를 얻을 수 있고 기존의 광학 현미경에 부착하여 레이저의 단파장성을 이용하여 특정 파장의 상태를 관찰함과 동시에 스캔장치에 부착된 핀홀을 이용하여 Out of focus가 없이 optical sectioning이 가능함.
구성 및 성능
닫기○ 배율 및 렌즈 - 최대 배율 15000x 이상 - 대물 렌즈: 5, 10, 20, 50x, 100x - Laser Spot 크기: 1um 이하 ○ Sample Stage - 100 x 100mm ○ Z축 측정 (높이 측정) - 최소 측정 높이: 30nm 이하 - 표시 분해능: 5nm 이하 - 최대 작동 거리: 20mm 이상 ○ XY축 측정 (폭 측정) - 최소 측정 폭: 300nm 이하 - 표시 분해능: 10nm 이하 ○ 소프트웨어 - 현미경 관찰기능 - Profile 측정 - 조도 측정 - 면적/체적 측정 - 3D 이미지
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항목명 교내요금 교외요금 3D LSM Profile, 3D, Roughness(시료당) 70000 100000