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Focused Ion Beam 4 / 집속이온빔장치(FIB 4)

  • 장비활용 주요실적
  • 사용료 안내
    항목명 교내요금 교외요금
    FIB4 Etching 가공(1시간) 170000 250000
    FIB4 TEM 전처리(2시간/시료1개/Si wafer기준) 360000 500000
    FIB4 EDS 성분분석(Point) 35000 50000
    FIB4 EDS 성분분석(Line, Mapping) 40000 60000
    FIB4 SEM Image(1장) 2000 3000
    FIB4 Pt, Au Coating(1회) 15000 20000
    FIB4 Mo Grid(1개) 50000 50000
    FIB4 TEM gel grid box 20000 20000