- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Diffusion Furnace / 열처리로
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2015 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Diffusion Furnace / 열처리로
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2015 모델명 : VULCAN-H81RD 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Dicing SAW / 웨이퍼 절삭기
[81502]나노패터닝용전해도금실험실 도입년도 : 2015 모델명 : DFD6340 취득금액 : |
예약불가 |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Cold-Wall Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) System for Growth of Quantum Semi-Metals / 양자 준금속 합성 기술 개발을 위한 냉벽 유기금속화학기상증착 시스템
N센터 C동 2층 86291호 도입년도 : 2025 모델명 : 수직형 MOCVD 취득금액 : |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Adaptive Co-Evaporation System / 진공증착기 (두개 전자빔 동시 증발증착 시스템)
[86698]클린룸 도입년도 : 2014 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Thermal ALD(Atomic Layer Deposition) System / 진공증착기 (원자층 증착시스템)
[86698]클린룸 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명없음 취득금액 : |
예약불가 |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Mask Aligner / 마스크 얼라이너
[86698]클린룸 도입년도 : 2015 모델명 : MA6 취득금액 : |
예약불가 |
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이차원양자헤테로... 공동활용 |
Micro Pattern Generator / 패턴 제네레이터
[86291]에너지클러스터실험실 도입년도 : 2014 모델명 : UPG-501 취득금액 : |
예약불가 |
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나노튜브및나노복... 단독활용 |
Inkjet Printer (Inkfet Printiong System) / 프린터, 잉크젯
- 도입년도 : 2007 모델명 : UJ-500 취득금액 : |
예약불가 |
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성균관대학교 자... 단독활용 |
4K Cryogenic Cooler / 4도 극저온 냉각기
5314호 도입년도 : 2020 모델명 : CKW-21A 취득금액 : |
예약불가 |