- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
|---|---|---|
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
8inch Mask Aligner / 8인치 마스크 얼라이너
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2020 모델명 : ma/ba8 GEN4 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
12 inch Magnetron Sputtering system / 12 인치 마그네트론 스퍼터링 시스템
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2020 모델명 : LEO12-8 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
PE-CVD / 고밀도 플라즈마 화학기상증착기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2005 모델명 : HiDepTM 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
Vertical Tube Furnace System / 수직형 진공열처리기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2011 모델명 : LVF-8100 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
Vertical Tube Furnace / 수직형 진공열처리기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2011 모델명 : LBX81 취득금액 : |
예약불가 |
|
뇌과학이미징연구단 단독활용 |
3D Printer / 3차원 프린터
N센터 86164호 도입년도 : 2014 모델명 : Dimension SST 1200es 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 단독활용 |
8inch Metal CMP system / 8인치 메탈 CMP 시스템
[81502]나노패터닝용전해도금실험실 도입년도 : 2022 모델명 : DL1 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
7 inch Sputtering System Ⅰ / 7인치 스퍼터링 시스템 Ⅰ
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2003 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
Mask Aligner / 노광기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2003 모델명 : MA6 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 단독활용 |
master polisher / 자동 연마기
[85191]소재공정실 도입년도 : 2011 모델명 : target master 취득금액 : |
예약불가 |