- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Vertical Tube Furnace / 수직형 진공열처리기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2011 모델명 : LBX81 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Diffusion Furnace / 열처리로
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2015 모델명 : VULCAN-H81RD 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Diffusion Furnace / 열처리로
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2015 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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성균관대학교 단독활용 |
Anodic Aluminum Oxide Unit / 양극 산화장치
81502 도입년도 : 2007 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |




