- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Thermal ALD(Atomic Layer Deposition) System / 진공증착기 (원자층 증착시스템)
[86698]클린룸 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명없음 취득금액 : |
예약불가 |
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에너지과학과 단독활용 |
ALD(Automic Layer Deposition) System / 진공증착기
86391 도입년도 : 2009 모델명 : Lucida D100 취득금액 : |
예약불가 |
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나노구조물리연구단 단독활용 |
Thermal ALD(Atomic Layer Deposition) System / 진공증착기 (원자층 증착시스템)
86391호 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명없음 취득금액 : |
예약불가 |
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신소재공학부 단독활용 |
Atomic Layer deposition / 원자층 증착장비
25106호 도입년도 : 2024 모델명 : Atomic classic 취득금액 : |
예약불가 |
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3단계산학연협력... 단독활용 |
Atomic Layer Deposition System / 원자층 증착 시스템
83433호 도입년도 : 2024 모델명 : PLATINA100 취득금액 : |
예약불가 |
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나노구조물리연구단 단독활용 |
PEALD System (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) / 진공증착기 (플라즈마 강화 원자층 증착 시스템)
- 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명없음 취득금액 : |
예약불가 |
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전자전기공학부 단독활용 |
ALD system / 웨이퍼 증착 적층기
81405호 도입년도 : 2025 모델명 : PLATINA100 취득금액 : |
예약불가 |
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자연모사소재공정... 단독활용 |
Perovskite Solar Cell Cluster / 페로브스카이트 태양전지 클러스터
Fab lab 동7층 729호 도입년도 : 2025 모델명 : Perovskite RD Line 취득금액 : |
예약불가 |