- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
PE-CVD / 고밀도 플라즈마 화학기상증착기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2005 모델명 : HiDepTM 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
8 inch CVD equipment / 8인치 CVD 장비
[81404]요네다야스노부교수실 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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에너지학과 단독활용 |
Ultra high vacuum oxygen-free plasma enhanced chemical vapor deposition / 초고진공무산소플라즈마화학기상증착장비
86291호 도입년도 : 2025 모델명 : PE-UHTCVD801M-L 취득금액 : |
예약불가 |
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반도체융합공학과 단독활용 |
8inch PECVD / 플라즈마 화학 기상 증착장비
81405호 도입년도 : 2026 모델명 : PECVD System 취득금액 : |
예약불가 |
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반도체시스템공학과 단독활용 |
plasma & wet scrubber / 플라즈마 습식 스크러버
81405호 도입년도 : 2024 모델명 : KHAN-Ⅱ 15K 취득금액 : |
예약불가 |
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나노소재기반휴먼... 단독활용 |
Thermal evaporator system wih glove box / Glove box 연결용 열 증착장비
83601 도입년도 : 2012 모델명 : KVE-T2006L 취득금액 : |
예약불가 |