- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
Chalcogenide Co-Sputtering System / 진공(배큠)챔버 (칼고겐이원화합물 스퍼터링 시스템)
[86391]에너지저장소재실험실 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
12 inch Magnetron Sputtering system / 12 인치 마그네트론 스퍼터링 시스템
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2020 모델명 : LEO12-8 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
Sputter System / 진공증착기
[85191]소재공정실 도입년도 : 2014 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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아날로그RF회로... 단독활용 |
Compact Magnetron Sputter System / 컴팩트 마그네트론 스퍼터 시스템
86201 도입년도 : 2017 모델명 : Flexlab50 취득금액 : |
예약불가 |
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나노소재기반휴먼... 단독활용 |
Dual Target Sequential Sputtering System / 듀얼타켓 금속박막증착용 스퍼터
86162 도입년도 : 2014 모델명 : Q300 TD 취득금액 : |
예약불가 |
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에너지과학과 단독활용 |
E-Beam Evaporator / 진공증착기
86391 도입년도 : 2012 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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신소재공학부 단독활용 |
RF Sputter / RF 스퍼터
83775 도입년도 : 2011 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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양자정보연구지원... 단독활용 |
Reactive Sputter / 반응형 스퍼터 증착기
83121호 도입년도 : 2022 모델명 : KVS-UHV 취득금액 : |
예약불가 |
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나노구조물리연구단 단독활용 |
Thermal Chemical Vapor Deposition (CVD) / 진공증착기
86591호 도입년도 : 2013 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
Magnetron Sputter / 자성 재료 증착용 Sputter
26206 도입년도 : 2002 모델명 : AT35 취득금액 : |
예약불가 |