- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Adaptive Co-Evaporation System / 진공증착기 (두개 전자빔 동시 증발증착 시스템)
[86698]클린룸 도입년도 : 2014 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Adaptive Co-Evaporation / 진공증착기
86698 도입년도 : 2014 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
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생명물리학과 단독활용 |
E-Beam Evaporator System / 전자빔 증착기
86701호 도입년도 : 2025 모델명 : KVE-E2000L series 취득금액 : |
예약불가 |
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신소재공학부 단독활용 |
Glancing Angle E-beam Evaporator / 경사각 이빔 증착장비
25106호 도입년도 : 2024 모델명 : RVE-E100 취득금액 : |
예약불가 |
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신소재공학부 단독활용 |
Thermal & E-Beam Evaporator / 저항가열 및 전자빔 증착 시스템
36219호 도입년도 : 2026 모델명 : E-Beam/Thermal Evaporation system 취득금액 : |
예약불가 |
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반도체융합공학과 단독활용 |
6inch&8inch E-beam evaporating system / 6&8인치 웨이퍼층 전자빔 증착 시스템
81405호 도입년도 : 2025 모델명 : 6inch E-beam evaporating system 취득금액 : |
예약불가 |
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양자기술첨단기기... 공동활용 |
E-Beam Evaporator 2 / 전자빔 증착기 2
86391 도입년도 : 2022 모델명 : 제작 취득금액 : |