- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
|---|---|---|
|
정보통신용신기능... 공동활용 |
7inch sputtering system / 증착 챔버
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2006 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
|
정보통신용신기능... 단독활용 |
E-beam Thermal Evaporating sys / 진공증착기
[25202C]학부공동연구실2 도입년도 : 2009 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
|
3단계산학연협력... 단독활용 |
Low pressure Chemical-Vapor Deposition / 저압 화학기상증착장비
83433호 도입년도 : 2024 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
|
이차원양자헤테로... 단독활용 |
Thermal Chemical Vapor Deposition / 열화학기상증착장비
23403B호 도입년도 : 2025 모델명 : TCVD501M-2HAPC 취득금액 : |
예약불가 |
|
3단계산학연협력... 단독활용 |
Low pressure Chemical-Vapor Deposition / 저압 화학기상증착장비
83433호 도입년도 : 2024 모델명 : 모델명 없음 취득금액 : |
예약불가 |
|
이차원양자헤테로... 단독활용 |
Thermal evaporator / 열증착기
86698 클린룸 도입년도 : 2016 모델명 : TLP1001 취득금액 : |
예약불가 |