- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Mask Aligner / 노광기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2003 모델명 : MA6 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
8inch Mask Aligner / 8인치 마스크 얼라이너
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2020 모델명 : ma/ba8 GEN4 취득금액 : |
예약불가 |
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이차원양자헤테로... 공동활용 |
e-beam lithography system / 전자빔 미세패턴닝 시스템
[86698]클린룸 도입년도 : 2019 모델명 : jsm-it200 취득금액 : |
예약불가 |
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이차원양자헤테로... 단독활용 |
Mask Aligner / 마스크 얼라이너
[86698]클린룸 도입년도 : 2015 모델명 : MA6 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 공동활용 |
Spin Coater / 회전도포기
[81401]나노공정팹 도입년도 : 2020 모델명 : SP-8 취득금액 : |
예약불가 |
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성균관대학교산학... 단독활용 |
Mask Aligner / 포토레지스트노광기
81402호 도입년도 : 2025 모델명 : P200 취득금액 : |
예약불가 |
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글로벌바이오메디... 단독활용 |
Mask Aligner / 마스크 얼라이너
86201 도입년도 : 2017 모델명 : MDA-400LJ 취득금액 : |
예약불가 |
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신소재공학부 단독활용 |
Mask aligner / 마스크 얼라이너
85191호 도입년도 : 2025 모델명 : MDA-400LJ 취득금액 : |
예약불가 |
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신소재공학부 단독활용 |
Mask aligner / 마스크 얼라이너
85191호 도입년도 : 2025 모델명 : MDA-400LJ 취득금액 : |
예약불가 |
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성균바이오융합과... 단독활용 |
Large-area high-resolution mask aligner for photolithography / 대면적, 고해상도 포토리소그래피 마스크 얼라이너
81205호 도입년도 : 2025 모델명 : MA6Gen4 취득금액 : |
예약불가 |