- 공동활용(예약가능)장비 - 교내외 공동사용 가능 및 서비스 제공 기관별 사용예약/결제시스템을 이용하는 장비
- 단독활용장비 장비 - 기관 자체적으로 운영하며 사용예약/결제시스템을 이용하지 않는 장비
| 국가연구장비 분류체계 | 장비명 | 예약가능 여부 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
8inch Metal CMP system / 8인치 메탈 CMP 시스템
[81502]나노패터닝용전해도금실험실 도입년도 : 2022 모델명 : DL1 취득금액 : |
예약불가 |
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정보통신용신기능... 단독활용 |
8inch Wafer CMP System / 8인치 웨이퍼 화학·기계적 평탄화 시스템
[81502]나노패터닝용전해도금실험실 도입년도 : 2020 모델명 : SSL-610IFN-20S 취득금액 : |
예약불가 |
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3단계산학연협력... 단독활용 |
Cooling Cross Section Polisher / 냉각이온빔단면가공장치
81B107호 도입년도 : 2024 모델명 : IB-19520CCP 취득금액 : |
예약불가 |