Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer / 이차이온질량분석기
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- 도입년도
- 2008
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- 모델명
- TOF-SIMS 5
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 독일 / Ion-tof
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 공동기기원
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- 설치장소
- [81B110]이차전자질량분석실
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-6764 / grw06466@skku.edu
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장비설명
닫기수 kV의 에너지를 가진 일차이온(primary ion)을 시료 표면에 조사하면 스퍼터링(sputtering) 과정에 의해 시료 표면으로부터 전자, 중성자, 클러스터(cluster), 이온 등이 튀어나오는데 본 이차이온 질량분석기는 이들 중 이차이온(secondary ion)만을 검출하여 분석하는 기기로서 시료로부터 방출되어 나오는 이차 이온의 질량을 측정하여 샘플 표면을 구성하고 있는 원소 및 분자 성분들과 깊이 방향으로 분포하는 성분을 검출함
구성 및 성능
닫기Sample size : maximum 12㎜ in size 5㎜ thick Specimen stage : X-Y-Z motorized stage Cluster LMIG (Ion Column, 3-Lens W/Electrodynamic Mass Separation) BI Source (A Field Emission Bismuth Cluster Ion Source/CLUSTER LMIG) DSC-5 (Dual-Source Ion Column) EI/CS Source / Gas Flood A / Scanner Navigation
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항목명 교내요금 교외요금 SIMS 기본료 진공 및 전처리(1회) 120000 160000 SIMS 표면분석 Surface(시료당) 90000 120000 SIMS 깊이분석 Depth Profile(시료당/30분) 120000 160000 SIMS 실제깊이변환 Profiler 추가(시료당) 40000 60000