이온은 전하를 띠고 있으므로 전기장이나 자기장 속을 지날 때 진행방향이 바뀐다. 같은 전하를 가진 이온은 질량이 클수록 경로가 적게 휠 것이다. 질량분석기는 이 성질을 이용하여 입자를 질량에 따라 분리하여 질량스펙트럼을 이용하여 분석하는 장비이다.

* Time of Flight SIMS (EUR745,000/\1,145,300,175/감면\82,426,254)) 1.TOF.SIMS (Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) : 1set 2.Cluster LMIG (Ion Column, 3-Lens W/Electrodynamic Mass Separation) : 1set 3.BI Source (A Field Emission Bismuth Cluster Ion Source/CLUSTER LMIG) : 1set 4.DSC-5 (Dual-Source Ion Column) : 1set 5.EI/CS Source : 각 1set / 6.Gas Flood A : 1set / 7.Scanner Navigation : 1set 8.I/B(Inteernal Backout) Main/Loadlock : 각1set / 9.Trading in Munster * Field Emission Scanning Electron Microscope(JSM-7500F) : 1set (￥31,200,000/\276,952,398/감면\37,378,127) -Magnification: 25-1,000,000X -Composition: Fully Eucentric Goniometer Stage,19" Observation LCD,Turbo-Molecular Pump외 -Acc. BE Detector, Cooling Water Circulator, UPS(7KV), Inkjet Color Printer 외

시료 표면 및 깊이방향의 성분 분석

Elemental and molecular chemical analysis of surface