Ellipsometer / (Elipsometer) 엘립소미터
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- 도입년도
- 2022
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- 모델명
- SENResearch
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 독일 / SENTECH
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 공동기기원
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- 설치장소
- [81B111]기기분석실Ⅰ
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-6750 / ley1231@skku.edu
국가연구시설장비 분류체계
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용도
닫기엘립소미터는 빛의 편광과 위상정보를 이용하여 박막의 두께를 옹스트롬 수준 까지 측정할 수 있다. 비파괴 실험, 높은 정밀도, 넓은 측정범위 등의 장점을 가지고 있다. 박막의 두께, 굴절률을 정밀하게 측정할 수 있다. 관찰대상 시료에 타원편관 된 빛을 쪼여서 반사된 선편광된 빛을 검사한다. 알고있는 편광상태(45˚ 선형편광)의 빛을 시료에 조사시키면 시료표면에 의해 편광상태가 바뀌며, 바뀐 편광상태를 측정한다. 엘립소미터는 편광상태의 변화를 측정하는 것이다. 따라서 엘립소미터의 raw 데이터(Ψ,Δ)는 편광상태를 설명한다.Ψ(psi)는 p파와 s파의 반사계수비, Δ(delta)는 위상차이며, 이 두가지로 모든 편광상태를 설명할 수 있다.얻어진 엘립소미트리 데이터만 가지고는 알고자 하는 두께나 굴절률등의 정보를 얻을 수 없으며, 분석 모델링을 통해 접근해야한다.
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항목명 교내요금 교외요금 Elipsometer 두께분석 단층막(시료당) 50000 70000 Elipsometer 두께분석 다층막(시료당) 60000 80000