NEOARM(JEM-ARM200F)은 일본의 JEOL사가 개발한 첨단 투과전자현미경(TEM)으로, 원자 수준의 해상도를 제공합니다. 이 장비는 JEOL의 독자적인 저온 전계 방출 총(Cold FEG)과 고차 수차를 보정하는 새로운 구면수차 보정기(ASCOR)를 탑재하여, 200kV뿐만 아니라 30kV의 낮은 가속 전압에서도 원자 해상도 이미징을 가능하게 합니다. 자동 수차 보정 시스템인 JEOL COSMO™를 통합하여 빠르고 정확한 수차 보정을 제공합니다. 또한, 새로운 STEM 검출기를 통해 조명 요소의 대비를 향상시켜 가벼운 원소의 명암을 개선하였으며, 낮은 가속 전압에서도 가벼운 원소의 물질을 쉽게 관찰할 수 있습니다. 재료 과학, 나노기술, 반도체 연구 등에서 시료의 미세구조 분석, 결정 구조 및 원자 배열 분석에 널리 활용됩니다. 특히, 구면수차 보정 기능을 통해 높은 해상도의 STEM 이미지를 제공하며, Dual EDS 시스템을 통해 원자 수준의 성분 분석도 가능합니다.

1. Resolution TEM Point image: 0.10 nm TEM Lattice image: 0.07 nm Information limit: 0.10 nm STEM BF image: 0.078 nm STEM DF image: 0.078 nm 2. Accelerating Voltage: 30 to 200KV(30, 80, 200KV Standard) Step size: 50 V STEM Cs corrector tuning: 200kV, 80 kV 3.Electron Gun Emitter: W Cold field emission type Brightness: ≥ 8 x 108 A/㎠/sr Vacuum pressure: 1 x 10-8 Pa or less Probe current: 0.5 nA for 0.2 nm probe diameter Energy resolution: 0.3 eV or less 4. Power Stability Acc. Voltage: ≦5 x 10-7 /min OL current: ≦5 x 10-7 /min 5. Objective lens (TEM) Focal length : 1.9 mm Spherical aberration : -0.1 mm to 0.5 mm Chromatic aberration : 1.4 mm Minimum step : 0.25 nm 6. Objective lens (STEM) Spherical aberration : - 0.1 mm to 0.6 mm Chromatic aberration : 1.4 mm 7. Spot size: min. 0.12 nm dia. 8. CB Diffraction Convergence angle : 1.5 - 20 mrad Acceptance angle : ± 10˚ 9. Magnification TEM LOW MAG mode : x50 ~ 80,000 TEM MAG mode : x8,000 ~ 2,000,000 TEM SA MAG mode : x8,000 ~ 800,000 STEM MAG mode: x20,000 ~ 150,000,000 STEM LOW MAG mode : x200 ~ 15,000 10. Camera length SA DIFF mode : 80 ~ 2,000 mm 11. Specimen tilting X/Y : ± 25˚ / ± 25˚ 12. EDS Solid angle : 1.2 sr. with optional Dual EDS 13. Take-off angle : 17.1˚

The Cs-STEM is a transmission electron microscope (TEM) equipped with a spherical aberration corrector for the condenser lens, enabling enhanced analysis of crystal structures, atomic arrangements, and atomic-level imaging in ultra-fine regions. As a Double Cs-TEM system, it provides even greater resolution. Additionally, it is equipped with a dual detector EDS (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy), allowing chemical composition analysis at the atomic level through techniques such as color mapping and line profiling. Cs-STEM은 Condenser lens의 구면수차보정 (Spherical aberration corrector) 기능을 가진 투과전자현미경(TEM)으로, 특히 Double Cs-TEM 장비로 더욱 향상된 미세영역의 결정구조, 원자배열, atomic level의 이미지를 분석한다. Dual detector EDS (Energy-dispersive x-ray spectroscopy)를 장착하여 atomic level의 성분분석(color mapping, line profile 등)을 통한 화학조성 분석이 가능하다.