원자단층현미경(Atom Probe Tomography, APT)은 원자 수준에서 3D 이미징과 화학 조성 분석이 가능한 고해상도 재료 분석 기술입니다. 깊이 분해능(0.1-0.3nm)과 측면 분해능(0.3-0.5nm)을 제공하며, 필드 증발을 이용해 원자 단위의 정량적 성분 분석이 가능합니다. 특히, 원자 클러스터 분석, 계면 특성화, 나노스케일 원소 분포 정량 분석 등 미세구조 연구에 필수적인 도구로 활용됩니다. LEAP 6000 XR은 심자외선(DUV) 레이저 펄스를 적용하여 감도와 분석 정밀도를 높인 첨단 APT 장비입니다. 동시 전압 펄스 레이저 펄싱(VLP) 기능을 통해 클러스터 및 계면 분석의 정확도를 향상시키고, 스펙트럼 백그라운드를 최소화하여 보다 정밀한 조성 변화를 측정할 수 있습니다. 또한, 마이크로팁 어레이와 호환되며, 향상된 광학 시스템과 자동화 기능을 통해 다수의 시료를 신속하게 분석할 수 있습니다.

1. Hardware (1) Load-Lock chamber (with a separate turbomolecular pump) (2) Storage / transfer chamber (with a separate turbomolecular pump) (3) UHV analysis chamber (with an ion pump and a titanium sublimation pump) (4) Uninterruptible Power Supply (UPS) (5) Integrated monitoring and logging of all system components (6) Motorized specimen mounting with controlled cryogenic cooling (7) Local Electrode stage (8) HV pulser for working in voltage pulsed mode (9) Laser pulse module (Deep UV Laser product system) (10) Proprietary Delay Line Detection system (11) A fully-integrated, automated plasma cleaner (12) Vacuum cryo transfer module (VCTM) for transporting under cryogenic and UHV conditions 2. Software (1) Data-acquisition and control PC with preliminary data analysis capabilities (2) Data processing software (AP Suite) 3. Specification - Mass resolution (FWHM): 1:1000 - Mass resolution (FWTM): 1:475 - Mass resolution (FW1%M): 1:275 - Maximum Data collection rate (ions/minute): 3 M/min - Minimum specimen temperature (K): 25 K

3차원 나노단위 분석 및 응용