Quantum Fab Clean Room / 양자팹 클린룸
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- 도입년도
- 2021
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- 모델명
- 모델명 없음
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / ㈜씨케이솔루션
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 성균관대학교 자연과학캠퍼스
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- 설치장소
- 81312호
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-6439 / yonuk@kriss.re.kr
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장비설명
닫기○ 소자를 기반으로 하는 양자정보분야 연구(예:양자컴퓨팅)의 저변을 확대하고 연구생태계를 조성하기 위하여 양자소자의 제작 지원을 위한 양자팹을 구축하고 양자소자 공정을 제공하는 것이 센터의 목적임. ○ 본 시설은 이를 위하여 향후 장비를 설치할 수 있는 기본적인 클린룸 설비를 갖추는 것임. ○ 이미 공간은 확보되어 있는 상태이며, 기본 클린룸 설치 후 단계별로 장비를 도입할 예정임. ○ 장비도입에 따라 순차적으로 개별적으로 필요한 유틸리티 공사를 진행할 예정임. ○ 클린룸이 확보되어야 양자팹을 진행할 수 있으므로, 이 클린룸 기본 공사는 시급성이 있음.
구성 및 성능
닫기○ 면적 350m^2, 기본 유틸리티 포함 ○ 청정도 1000 이하. 내부 클린존 100 이하 ○ 공조 등 기본 유틸리티 포함 ○ 추후 장비 도입시 추가 유틸리티 공사
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