○ 초전도 큐비트 양자프로세서의 특성 평가 - 양자소자의 제작과 최적화를 위하여 다양한 특성 평가를 통한 소자 검증이 필요 - 특성 평가 시 마이크로파를 이용해 양자상태를 인위적으로 제어하여 측정하므로 극저온 환경 필수 ○ 대면적 MXC(Mixing Chamber) 필수 - 20-50큐비트급의 양자소자의 개발을 위해서는 특성 평가를 병렬방식으로 신속 측정 필요 → 여러 RF측정 모듈 과 많은 DC 및 RF 케이블 장착이 가능한 공간 및 안정적 MXC 필요 ○ 소자 공정 개발 및 공정유지를 위한 필수장비 - 24시간 내 10mK 이하 극저온 환경을 만들어 열잡음 효과를 극소화한 상태에서 양자 소자의 특성평가 가능 ○ 본 장비를 이용한 소자 검증은 다양하고 반복적인 양자소자 공정을 신속하게 점검할 수 있고 최상의 상태 유지를 가능하게 함.

○ Cryogen-free dilution refrigerator system - Base temperature : less than10 mK - Cooling power : more than 14 μW at 20 mK (more than 16 μW typical) - Cooling power : more than 400 μW at 100 mK (more than 500 μW typical) - Cooling power : more than 575 μW at 120 mK (more than 650 μW typical) - Temperature Controller - Requires 18 liters of helium-3 for operation ○ Double PT420-RM Cryocooler (2W) - Cryomech model 2W PT420-RM Rulse Tube Cryocooler X 2ea ○ MXC Flange Diameter - Over 290 mm diameter mixing chamber plate ○ Line-of-sight access ports receptive capacity - Over 50 cable possible