Active vibration isolation system for precision device process / 정밀소자 공정지원 액티브 제진대
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- 도입년도
- 2023
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- 모델명
- DVIA-P4000
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / (주)대일시스템
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 양자정보연구지원센터
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- 설치장소
- 81312호
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-4196 / yonuk@kriss.re.kr
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장비설명
닫기○ 양자팹에서 도입하는 전자빔 리소그라피 장비의 설치를 위하여 클린룸 바닥의 진동을 측정해본 결과, 장비의 최적 성능을 끌어올리기 위해서는 진동방지를 위한 제진대를 설치하는 것이 효과적이라고 판단하여, 클린룸 일부에 제진대를 설치하는 설비공사임. ○ 능동식(액티브) 제진대로서, 공기압에 의한 수동 진동방지 뿐 아니라 전기 액츄에이터를 활용한 능동 진동방지 기능으로 바닥의 진동을 효과적으로 제거해 줌.
구성 및 성능
닫기○ Isolator Dimensions - 350×350×110 mm ○ Vibration Isolation Platform Dimensions – 1,000×1,000×152 mm ○ Maximum Load Capacity – 1,100 ~ 3,700 kg ○ Actuator - Pneumatic Actuator ○ Maximum Actuator Force - Vertical: 36,260 N, Horizontal: 588 N ○ Vibration Sensor - Accelerometer ○ Degrees of Freedom - 6 degrees ○ Active Isolation Range - 0.5 ~ 150 Hz ○ Vibration Isolation Performance at ≥4 Hz , ≥90% ○ Position Accuracy - ±10 um ○ Input Voltage (V) - AC single phase 100 ~ 240 V ○ Power Consumption (W) - 100 W ○ Required Air Pressure - ≥5.5 kg/cm² ○ Air Comsuption - High speed valve: 250 NL/min
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