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장비찾기 및 예약현황

F.물리적측정장비

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F.물리적측정장비

Active Pneumatic Vibration Isolation System / 공압식 서보밸브형 액티브 제진대

  • 장비설명

    ○ 클린룸 장비의 바닥 진동을 분리하여 방지하는 목적 ○ 공기압에 의한 수동 진동방지 ○ 전기적 액츄에이터를 활용한 능동 진동방지

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    구성 및 성능

    ○ Isolator Dimensions - 350×350×110 mm ○ Vibration Isolation Platform Dimensions – 1,000×1,000×152 mm ○ Maximum Load Capacity – 1,100 ~ 3,700 kg ○ Actuator - Pneumatic Actuator ○ Maximum Actuator Force - Vertical: 36,260 N, Horizontal: 588 N ○ Vibration Sensor - Accelerometer ○ Degrees of Freedom - 6 degrees ○ Active Isolation Range - 0.5 ~ 150 Hz ○ Vibration Isolation Performance at ≥4 Hz , ≥90% ○ Position Accuracy - ±10 um ○ Input Voltage (V) - AC single phase 100 ~ 240 V ○ Power Consumption (W) - 100 W ○ Required Air Pressure - ≥5.5 kg/cm² ○ Air Comsuption - High speed valve: 250 NL/min

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  • 항목명 교내요금 교외요금
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