Profiler / 프로파일러
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- 도입년도
- 2021
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- 모델명
- P-7
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 미국 / Kla-tencor
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 성균나노과학기술원
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- 설치장소
- 81312호
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-6439 / yonuk@kriss.re.kr
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구성 및 성능
닫기○ 156 mm scan length ○ no stitching required20 ○ site sequencing softwareMicrohead 5 measurement head ○ Constant stylus force control ○ Single view optics - top or side view ○ 2000 x 1200 μm field of view ○ 5 MP color digital camera150 mm diameter universal chuck with vacuum sample hold-down - Precision locator pins: 50, 75, 100, 125, and 150 mm wafersManual
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항목명 교내요금 교외요금 정보가 없습니다.