Surface Profiler / 박막두께 측정기
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장비설명
닫기특징 Nano tip으로 시료의 두께를 측정하는 장비로써 단차 측정의 측정 분해능이 0.1 Angstrom 으로 탁월하며 Camera Lens 의 배율이 조절 가능( 70 x 210배)하여 조그만 Pattern 및 깊이 측정에 매우 용이 합니다. 또한 sample stage 의 이동거리가 150 x 80mm로 Travel Distance가 넓어서 다양 한 Size 의 sample 측정이 쉽고 빠르고 정확하게 이루어질 수 있습니다. 양방향으로 측정이 가능하여 Pattern 의 형체에 따른 Scanning을 방향 구별 없이 측정을 가능하게 해줍니다. 박막의 단차(두께) 측정은 최소 100 Angstrom에서부터 최대 400um 까지 범위가 넓어 여러 다양한 박막의 코팅 두께 그리고 막 표면의 거칠기 ( Ra, Rms ) 값을 구하는데 이상적인 제품입니다. 이미 측정된 sample 없이도 저장된 Profile만을 가지고 여 러 가지 원하는 Parameters ( 기울기, 체적, 각도, 등)를 다양하게 분석을 할 수 있으며 측정 Report를 쉽고 빠르게 만들 수 있는 기능이 있어 서 시료 분석 후 전체 보고용으로 매우 적합한 장비입니다.
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