Stylus Profiler (Profilometer) / 강유전체 박막특성 측정 시스템
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- 도입년도
- 2014
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- 모델명
- Alpha-Step D-100
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 미국 / Kla-tencor
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 양자기술첨단기기센터
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- 설치장소
- [86691]에너지나노디바이스실험실
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 010-2879-5515 / orisun0712@skku.edu
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장비설명
닫기1. The AlphaStep® D-100 stylus profiler rapidly and quantitatively measures the 2D topography of surfaces. 2. The AlphaStep® D-100 stylus profiler includes an 800 micron (optional 1.2 millimeter) Z range sub-angstrom resolution 6 angstrom step height repeatability manual x-y theta sample positioning stage and many other features.
구성 및 성능
닫기1. 30 mm scan length 2. Z sensor range up to 1.2 mm 3. 140mm manual sample positioning stage 4. Force control 0.03mg ？ 10mg 5. Windows XP Vista and Windows 7 compatible
사용/활용예
닫기1. 탐침으로 샘플 표면을 긁어 단차를 측정하는 두께측정기 입니다. 다양한 종류의 물질 측정이 가능합니다. 2. 주로 샘플의 표면 거칠기를 측정하거나 단차 측정을 이용한 박막의 두께를 측정하는데 이용합니다.
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항목명 교내요금 교외요금 표면단차측정기(Alpha-Step)-분석료(시간 당) 30000 36000