수 나노에서 최대 1200μm까지 2D 스텝 높이를 측정 할 수 있습니다. 또한 R & D 및 생산 환경에 대한 거칠기, 활 및 응력의 2D 측정을 지원합니다. 수동 140mm 무대와 강화 된 비디오 제어 기능을 갖춘 첨단 광학 장치가 포함되어 있습니다

Full Covering Without Sample Re-Positioning by Manual -Scan Length : 10mm -Vertical Range : 400um(2mm Option Available) -Vertical Resolution: 0.012 Angstrom at 20um -Stylus Force : 1-100mg (Adjustable) -Step Height Repeatability: 8 Angstrom -Magnification : 70-210X 2.Camera (Black & White): 1ea 3.Wind Shield Hood: Included 4.Computer with Software: Included(Parameter Analyzable) .CPU:Intel PⅣ-1.8GHz, RAM:256MB, HDD:20GB, CD-RW:24X, Lan, O/S:Windows XP .Monitor & Printer : Not Included 5.Roughness Measurement : Included (Option) 6.Stylus: 5um 60 Degree(1ea), 2um 45 Degree(1ea), 0.5um 85 Degree(1ea)(For Trench Scan) 7.Step Height Standard : NIST Certified VLSI 180nm (1ea), 940nm (1ea)

응용분야 : 스텝 높이 2D 스텝 높이 텍스처 2D 거칠기와 울름 형태 2D 활 및 모양 스트레스 2D 박막 스트레스 산업분야 : 반도체 및 화합물 반도체 LED : 발광 다이오드 솔라 MEMS : 마이크로 전기 기계 시스템

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