본 장비는 반도체 소자 및 다양한 전자 재료의 전기적 특성을 정밀하게 측정하는 데 사용되는 고성능 프로브 스테이션입니다. 전압-전류(IV) 및 캐패시턴스-전압(CV) 측정이 가능하며, 일체형 암막 상자(Dark Shield Box)와 정밀 진공 척(Chuck)을 갖추어 외부 노이즈와 빛을 완벽히 차단한 상태에서 미세 전류 및 고정밀 측정을 수행할 수 있습니다. 측정 범위: Keysight PZ2120A SMU(Source Measure Unit)를 포함하며, 100fA (펨토암페어) 수준의 매우 미세한 전류까지 정밀 측정이 가능합니다. 측정 환경: 일체형 암막 상자와 ESD(정전기 방지) 처리된 글라스 척을 통해 노이즈와 정전기를 최소화하며, 저소음 진공 펌프를 사용하여 안정적인 측정 환경을 제공합니다. 시료 조작: PB50 마이크로 포지셔너(Micro Positioner)를 통해 1um(마이크로미터) 이하의 해상도로 시료의 위치를 정밀하게 조절할 수 있습니다. 관찰 시스템: 최대 200배율의 현미경과 4K 해상도의 CCD 카메라를 탑재하여 시료의 미세 구조를 선명하게 관찰할 수 있습니다. 해당 장비는 학부생 대상으로 하는 디스플레이 분야 인재양성을 위한 부트캠프 사업을 통해 구축되었습니다. 학부생 교육 목적으로 우선 사용되며, 장비 사용을 위해서는 관리자에게 별도 교육을 받아 권한을 획득하셔야만 함을 알려드립니다.

Analyzer High Perfomance Probe system_IV,CV Measure Model : MST3000A_DDT_One Body Type Probe station main body unit Dimension : 543(w) x 420(d) x 6(t)mm Platen : Glass Coating for ESD 4" ambient coaxial chuck_Isolation & Ground Al Sanding Hard Anodizing Dark Shield Box_One Body type Dimension : 550(w) x 550(d) x 480(h)mm Down Table_One Body type Dimension : 550(w) x 550(d) x 910(h)mm Test Measurement Instrument Control PC precision Rack Type Microscope Precision (Max: ~200x) Zoom : 1x ~ 7x Total magnification : 200x (Max) LED Ring Guide Volume Adjust Control_White CCD Camera Precision_4K 4K@1080p@60FPS CCD C-mount, 1/2" 15" LCD Monitor Dual Port Micro Positioner body unit_PB50 Manipulator LM lead guide, Fine Manual knob X/y Stage Travel : 6mm, Resolution : 1um less than Z Stage Travel : 9mm, Resolution : 1um less than Magnet Base Block Type Positioner holder : C_15 Triaxial Triaxial Cable 1.5M, Triaxial Plug Positioner holder : C_15 (Ground) Coaxial Cable 1.5M, Triaxial Plug Probe Tip - M5BG Gold-Tungsten, Bending Type, MST 0.5 x 25mm, Tip dia 10um, 10pcs MBG40_Ceramic Gold Back gate 40mm X 40mm X 0.5(t) MSA002_Vacuum Pump 620ml/sec, Low Sound, Anti Vibration Housing Cover System Control PC I3 Core Windows 10 Keysight PZ2100 High Channel Density Precision SMU Solution Measure Software PZ2120A SMU_2CH 100fA, 60V, 3.5A DC/10.5A pulse KeysightCare Technical Support- 3years Return to Keysight Warranty - 3years