Probe station / 프로브 스테이션
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- 도입년도
- 2020
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- 모델명
- EB-6V
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대만 / Everbeing
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 아날로그RF회로및시스템연구센터
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- 설치장소
- 85633호
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-290-7171 / sdktbv@skku.edu
국가연구시설장비 분류체계
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장비설명
닫기110GHz 이상의 대역을 on-wafer 측정하기 위한 장비. 110 GHz 이상의 측정장비는 웨이브가이드 구조 이므로 일반 프로브스테이션으로는 측정이 불가능하다. 본장비는 웨이브가이드구조의 측정 모듈을 장착하여 on-wafer 측정할 수 있게 설계되어 있다.
구성 및 성능
닫기○ VNA frequency extension modules ⋅ 150mm Stainless Steel Vacuum Chuck ⋅ For samples from 1 mm to 150 mm ⋅ Vacuum source -250 mmHg required ⋅ Coaxial Chuck Stage X-Y 150mm-150mm Travel Range Fine and Coarse ⋅ Resolution 1 micron ⋅ Chuck Z -Motion 4 mm Range ⋅ Chuck Z -Motion 1 μm Resolution ⋅Chuck Theta 0.01˚ Resolution ⋅Chuck Theta 30˚ Fine Travel, 360˚ Coarse ⋅Microscope X-Y Stage Travel 50mm-50mm ⋅Microscope X-Y Stage Resolution 1 μm ⋅Probing Height Adjustable ⋅South and North Platen for Micropositioner
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