Environment Control / 반도체소자 실험장비
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- 도입년도
- 2013
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- 모델명
- 모델명 없음
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / 알엠에스테크놀러지 주식회사
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 에너지과학과
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- 설치장소
- 86691호
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-290-5114 / kwonwool@skku.edu
국가연구시설장비 분류체계
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장비설명
닫기실험실 등에서 웨이퍼 칩의 전기적 특성을 테스트하기 위한 수동식의 프로브스테이션으로서 진공 척 현미경 Manipulator 등으로 구성되어 있어 사용자는 테스트하기 위한 웨이퍼를 진공척에 고정시킨 후 상단에 부착된 현미경을 통하여 위치를 확인하면서 X-Y축 레버를 이용하여 측정하고자 하는 칩의 위치로 웨이퍼를 이동시킨다.
구성 및 성능
닫기탐침봉이 부착된 Manipulator를 이용하여 탐침봉을 측정하고자 하는 칩의 위치로 미세조정을 한 후 테스터기로부터 인가된 전기적 신호를 Manipulator를 통하여 칩에 보내어 측정대상 칩의 양불량을 검사한다.
사용/활용예
닫기사용자는 현미경을 통하여 확인된 칩의 일련번호 등과 테스터기에 나타난 당해 칩의 양불량 상태를 비교검토하는 방법에 의거 칩의 양불량을 검사하는 기기로 연구소 실험실 등에서 사용하기에 적합하도록 제작된 수동의 프로브 스테이션으로 일반적인 프로스테이션과 마찬가지로 테스터기와 연결하여 사용되는 것임
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