Spin Wet Etcher / 스핀 습식 식각 장비
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- 도입년도
- 2008
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- 모델명
- ESE Lab Series
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / 이노맥스
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 성균관대학교
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- 설치장소
- 81401
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-6606 / jss33@skku.edu
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장비설명
닫기특징 금속을 습식식각할 때 일반적으로 식각액에 담가서 작업하는 것이 아니라 웨이퍼를 회전시키면서 식각을 하므로 상대적으로 에너지가 커서 식각 효율도 높으면서 균일한 식각이 가능한 설비
구성 및 성능
닫기구성및성능 * Chamber - Size : 6 / 8 inch - Single chamber : 3가지 chemical 사용 - One-shot drain & recycle : Bottle use - Pre-Fulshing Port : 각각의 Run & chemical 마다 선택적 사용 * Chuck - Size : 6 /8 inch - Vacuum check : Vacuum 압력 이상 발생 시 run stop - RRM : up to 5000 rpm - Auto centering : wafer maunal loading 시 auto centering 후 run - No wafer interlock * dispenser - 3 Chemicals : 3 chemicals 외 D.I rinse N2 dry dispenser : total 5 dispensers - Non-drip function - Motion Profile
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