Vertical Tube Furnace / 수직형 진공열처리기
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- 도입년도
- 2011
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- 모델명
- LBX81
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / 리드엔지니어링
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 정보통신용신기능성소재및공정연구센터
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- 설치장소
- [81401]나노공정팹
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- 담당자 연락처 / e-mail
- - / jss33@skku.edu
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장비설명
닫기- UP-350, UT-350 Temp. Controller - Vacuum Pump System(Diffusion & Rotary Pump): (Base Pressure)1*10(-5)Torr - Interlock System
구성 및 성능
닫기1.Box Type Vertical Furnace System : 1set -Furnace : Kantal A1 Heater(1 Zone Control) / (Process Temp.)400-800℃ -Load Station: Loading / Unloading Manual Type -Controller : PLC -Gas System : (N2)20slm, 5slm / (O)\2)500sccm -Controller : PLC Control -Gas Piping : SUS316L EP 2.Quartz Ware & Accessory Parts : 1set -Process Tube, Boat
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