Dicing SAW / 웨이퍼 절삭기
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- 도입년도
- 2015
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- 모델명
- DFD6340
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 일본 / Disco
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 정보통신용신기능성소재및공정연구센터
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- 설치장소
- [81502]나노패터닝용전해도금실험실
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-6602 / gogo7692@skku.edu
국가연구시설장비 분류체계
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구성 및 성능
닫기1.Dicing Saw (Dual Spindle Dicing Saw) : 1set -Workpiece Size: Φ8" -X-axis : (Curring Range)210mm / (Cutting Speed)0.1-600mm/sec -Y1-Y2-axis : (Cutting Range)210mm / (Index Step)0.0001mm / (Index Positioning Accuracy)0.003/210mm -Z-axis : (Max.Stroke)19.22/19.9mm / (Moving)0.00005mm -θ-axis : (Max.Rotating Angle)380˚ -Dimensions : 1,180*1,110*1,850(W*D*H)mm / 1,600Kg
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