Hot-Temp Probe System (Dry Transfer System) / 반도체소자 실험장비 (건식 전사장치)
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- 도입년도
- 2015
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- 모델명
- TP-802X Manual Probestation
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / 티엔피
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 나노구조물리연구단
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- 설치장소
- [86698]클린룸
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 010-3639-4408 / kwonwool@skku.edu
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장비설명
닫기Align transfer system for various 2D material / device fabrication -Dry transfer of layered material and fabricate in N2 atmosphere
구성 및 성능
닫기1.Probe station main body unit -Ambient coaxial chuck -Vacuum chuck : center hold, on&off switch -Z stage : fine motion, up&down : 10[mm ] -Theta Micro control 15c -X,Y stage : travel 200x200[mm], fine motion 2. CCD camera precision system 3.Hot chuck & controller spot : 100[mm] -Temp range : Max 250 [degree] -Temp resolution : 1[degree] 5. Vacuum pump : low noise for lab 6. PSM 100 High magnification microscope
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