Micro Pattern Generator / 패턴 제네레이터
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- 도입년도
- 2014
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- 모델명
- UPG-501
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 독일 / Heidelberg Instruments
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 이차원양자헤테로구조체연구단
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- 설치장소
- [86291]에너지클러스터실험실
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 010-3639-4408 / kwonwool@g.skku.edu
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장비설명
닫기본 장비는 반도체의 미세 회로패턴에 있어서 필수불가결한 장비로 기존의 다른 리소그래피 (식각, Lithograhpy)과정이 별도의 패턴용 마스크를 필요로 했던 반면 시료를 전사한 웨이퍼에 직접 패턴을 그려넣어 회로제작의 시간 및 경비를 단축할 수 있는 장비이다.
구성 및 성능
닫기Pattern generator 본체 - 1(기) Power supply - 1(기) 패턴제작용 데스크톱 - 1(기) 패턴 제작용 모니터 - 1(기) Power cable - 1(기)
사용/활용예
닫기현재 많이 이루어지고 있는 이차원물질의 박리 및 전사 후 그 전기적 특성을 측정하기 위해 리소그래피 공정을 거쳐 전자소자를 제작하여야 한다. 보통의 소자제작과정과는 달리 기판위에 전사된 시료위에 바로 감광제를 코팅하고 별도의 식각공정 없이 본 장비로 반도체 패턴의 구현이 가능하다.
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