Thermal ALD(Atomic Layer Deposition) System / 진공증착기 (원자층 증착시스템)
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- 도입년도
- 2013
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- 모델명
- 모델명없음
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 대한민국 / 아텍시스템
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 이차원양자헤테로구조체연구단
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- 설치장소
- [86698]클린룸
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 010-3639-4408 / kwonwool@g.skku.edu
국가연구시설장비 분류체계
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