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장비찾기 및 예약현황

C.기계가공/ 시험장비

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C.기계가공/ 시험장비

Adaptive Co-Evaporation System / 진공증착기 (두개 전자빔 동시 증발증착 시스템)

  • 장비설명

    Electron-beam 을 이용한 여러 물질박막 증착 장비로 기존의 박막을 형성하는 기능으로도 사용되나 두개의 e-beam gun으로 두가지 타겟을 한번에 증착시킬 수 있는 장비이다.

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    구성 및 성능

    2개의 e-beam gun을 이용하여 두 물질을 동시에 증착가능하며 또한 thermal evaporation pocket 이 1개 장착되어 theramal로 증착이 유리한 물질 또한 증착 가능하다.

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    용도

    .

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  • 항목명 교내요금 교외요금
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