고분해능 회절 장비인 SmartLab은 완전 자동화된 모듈형 XRD로 박막이나 다른 새로운 물질들을 Guidance 기능에 의해 완전 자동 방식으로 측정 가능합니다. Rigaku의 혁신적인 지식과 노하우를 기반으로 개발된 Guidance 소프트웨어 패키지는 분석자에게 다양한 분석방법과 각종 재료에 대한 최적의 측정조건을 제시하기 때문에 전문가 뿐만 아니라 초급자도 그 동안 어려웠던 박막 재료의 측정을 가능하게 합니다. 박막 나노 물질 분말 및 액체 등의 시료분석이 가능하며 측정 패키지에는 분말회절 박막회절 In-plane회절 X-선 반사율 소각산란 등이 있습니다.

Guidance 기능 Rigaku의 분석 노하우를 기반으로 한 Guidance 소프트웨어는 각 어플리케이션에 최적인 광학계의 선택부터 측정 조건 설정 및 실행까지 측정 순서를 자동적으로 설정합니다. 9Kw 고출력 X-선 발생장치 선택가능 신개발 9KW Rotating anode형 X-선 발생장치와 각종 광학계의 조합에 의해 기존 대비 3배의 X-선강도를 실현하고 런닝코스트(running cost)는 절감하였습니다. In-plane 측정 별도의 In-plane Arm 장착으로 장치의 탈부착 없이 실질적인 In-plane 측정이 가능합니다. In-plane 측정으로 시료면에 수직한 결정면에 대한 회절 정보를 얻을 수 있으며 특히 박막 표면구조 평가에 효과적입니다. CBO (Cross Beam Optics)기술 Rigaku의 특허 기술인 CBO에 의해 각종 광학계의 간단한 전환이 가능하며 각종 고분해능 광학계의 설정 및 최적화 조정을 자동화합니다. 시료수평형 고니오미터 고분해능 XRD에 세계 최초로 시료수평형 고니오미터를 장착하여 시료가 떨어지거나 휠 우려가 전혀 없으며 액상 분석에 활용 가능합니다.

1) 다양한 박막 평가 어플리케이션：In-plane 회절 조성 분석 방위/배향 분석 결정성 평가 Relaxation 평가 격자 왜/잔류응력 평가 막 두께 분석 Interface roughness 분석 밀도 분석 면내 균일성 평가 등 2) 소각산란측정 (NANO-Solver 소프트웨어에 의한 해석 용이): 액체 분산 나노 입자의 입경 분포 해석 박막 또는 판상시료의 나노 입자/Pore size 분포 해석 나노 입자/pore 형상 평가 불규칙 한 전자 밀도 분포의 상관 함수 해석 등 3) 각종 분말 회절분석 : 정성 분석 정량 분석 결정화도 평가 결정자 사이즈/격자변형평가 격자 정수의 정밀화 Rietveld 해석 등

박막 및 고배향성 재료의 결정구조분석