Spectroscopic Ellipsometer / 엘립소미터
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- 도입년도
- 2024
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- 모델명
- M2KX-210
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 미국 / J.A.WOOLLAM CO.,INC.
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 기초과학연구원
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- 설치장소
- 31156B호
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- 담당자 연락처 / e-mail
- 031-299-4559 / tp8701@skku.edu
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장비설명
닫기광학 측정을 통해 비파괴 방식으로 시료의 굴절률, 유전상수, 광학 전도도, 두께 등을 얻고 전자구조를 분석할 수 있다. 시료의 품질을 검사할 수 있을 뿐만 아니라 새롭게 합성한 물질의 전기적, 광학적 성질을 분석할 수 있다.
구성 및 성능
닫기Model M2KX-210: 210nm to 1000nm(∼485 wavelength) 1sys • Patented Rotating Compensator (RCE) design. • All wavelengths are acquired simultaneously. • Measurement speed: 20Hz [min], 1-5 sec. [typical] • Collimated Light beam. • Auto angle base ranging 45° to 90° with Horizontal sample stage • Automated sample height (Z) alignment • 5-Seat License for CompleteEASE software With Operation PC • Operation PC + Options - IR upgrade(1005 nm to 1690 nm, ~190 wavelengths) - Automated Filter Wheel 210 nm 부터 1690 nm 파장까지 측정 가능, 45°부터 90°도까지 입사각을 자동으로 변화시키면서 측정 가능 정밀한 측정을 위해 시료 높이를 자동으로 조정 가능 자체 분석 프로그램 (CompleteEASE) 지원
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