Field Emission Scanning Electro Microsccope(FE-SEM) / 전자현미경
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- 도입년도
- 2011
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- 모델명
- JSM-6701F
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- 취득금액
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- 제조국가 / 제조사
- 일본 / Jeol
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- 수량
- 1
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- 운영기관
- 나노소재기반휴먼인터페이스융합연구센터
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- 설치장소
- 83113
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- 담당자 연락처 / e-mail
- / cnnc2001
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장비설명
닫기JEOL사 JSM-6701F는 Cold Type의 Gun을 채용한 방식으로 매우 낮은 가속전압에서 고 분해능(2.2nm at 1kV)을 보증하고 있어 Weak한 Sample의 경우에도 Image 관찰 시 상당히 좋은 품질의 결과를 얻을 수 있으며 500V의 최저 전압까지 인가가 가능하고 최대 배율은 x650000까지 지원된다. 이는 고 분해능을 요구하는 시편이나 낮은 가속전압을 필요로 하는 시편일 경우 상당히 유리하게 적용되는 항목이다. 또한 이미지 관찰 및 다양한 분석작업을 위해 Probe Current 조정이 필요하며Large Probe Current를 사용하면 Beam Diameter가 커져 Resolution이 떨어지게 된다. JSM-6701F의 경우 O.L Aperture (대물렌즈 조리개)와 O.L (대물렌즈) 사이에JEOL 특허인 Aperture angle optimizing lens를 채용하여 자동으로 Aperture angle을 최적화 시킬 수 있도록 설계되어 있어 분석 시 사용하는 Large probe current 에서도 Sharp한 Beam을 그대로 유지 할 수 있으므로 고 분해능 고 화질 영상을 그대로 유지하면서 정확을 분석을 할 수 있다. 또한 Aperture alignment 및 focus 작업이 불필요하므로 작업의 효율성을 극대화한 system으로 나노소자 시료의 표면형상을 수십만배의 고배율로 관찰 할 수 있어 센터의 다양한 연구분야에 광범위하게 활용되고 있다.
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