○ 초(저)전압 초고분해능(고성능) 전계방사형 주사전자현미경(UHR-FE-SEM)은 전자빔을 시료에 주사하였을 때 시료와 충돌하여 발생하는 2차 전자를 검출하여 시료의 미세한 표면 구조를 관찰하는 기기이며, Shottky 전계방사형 전자총을 사용하므로 열방사형 전자총보다 수백~수천 배 정도의 높은 휘도 및 수 nm의 전자빔을 얻을 수 있으므로 고분해능의 측정이 가능함. 또한, 1kV 이하의 낮은 가속전압에서도 고해상도의 이미지를 얻을 수 있으므로 높은 가속전압 하에서 시료 표면의 손상이 일어나기 쉬운 유기재료(고분자, 생체 재료) 등의 관찰 및 표면의 미세한 구조 관찰과 함께 화학분석이 가능함 - 나노물질(나노입자, 나노튜브, 나노선) 나노구멍, 나노 패턴, 이들의 표면, 생체물질(뼈, 뇌신경 돌기, DNA), 레지스트등 유기물 - 열처리, 표면처리 등 금속 및 박막의 미세조직 변화에 대한 신뢰성 평가 및 실시간 관측/분석 - 각종 금속 재료, 반도체 재료의 미세조직, 미소정량 및 정성 분석

○ SEM - Resolution : 0.8㎚ guaranteed at 15㎸ 0.9㎚ guaranteed at 1㎸ - Accelerating voltage : 0.2 to 30㎸ or wider - Detector : Upper position electron detector or In-column Detector Middle position electron detector or Upper in-lens Detector Lower position electron detector or Lower in-lens Detector - Specimen stage : Fully Eucentric 5axis motorized stage - Traverse · X : 0 to 110㎜ or wider · Y : 0 to 100㎜ or wider · Z : Max. 40㎜ or wider · T : -5˚ to +70˚ or wider (eucentric) · R : 360˚ (continuous) ○ EDS(Dual) - Silicon Drift Detector : LN2 free - Sensor Size : windowless 100mm2, 170mm2 - 2 sets - Resolution : 56eV at C Ka, 64eV at F Ka and 127eV at Mn Ka

Analysis of phase, chemical elements, crystal structure at small region for materials needing the high resolution 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성분석, 결정구조분석